停止之前吧，我们依然是在研发436纳米g线光源分步重复光刻机技术，在掩膜方面有所突破，但曝光系统和透镜及对焦系统以及材料研究上面遇到了难题......

许多基础设备无法制造，我们不得不花大价钱从国外买,耗费巨大，研究出来的产品还要落后市面上的产品十多年.....”

咦？

这不对啊！

李秀成越听眉毛皱得越深，前世他并没有亲自下场参与光刻机制造，只了解过一些资料。

自然听起这些专业名词就有些吃力，但越听却越觉得不对劲。

“等等，周教授，你的意思是我们现在还没有研制成功分步式光刻机？”

“当然没有！怎么了不对嘛？”周宏疑惑道：“有也是上海光学精密机械研究所研制的‘扫描式投影光刻机’不过扫描式的弊端太大，后续研发价值不大。

现在...好像那边也没有什么动静了。”

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